微型傳感器所涉及的微傳感器,是指那些至少有一個(gè)物理尺寸在亞毫米量級(jí)的傳感器。全書共分10章:引言、微傳感器與信號(hào)、微傳感器的常用材料及加工工藝、熱學(xué)量微傳感器、輻射量微傳感器、機(jī)械量微傳感器、磁微傳感器、化學(xué)量微傳感器常用技術(shù)、化學(xué)量微傳感器、微傳感器的數(shù)據(jù)獲取。
按照被測(cè)量的物理性質(zhì),將微型傳感器分為化學(xué)微傳感器、生物微傳感器、物理微傳感器等,簡(jiǎn)要介紹一下每種類型中典型的微傳感器:
(1)離子傳感器——化學(xué)型
離子傳感器是將溶液中的離子活度轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的傳感器?;驹硎抢霉潭ㄔ诿舾心ど系碾x子識(shí)別材料有選擇性的結(jié)合被傳感的離子,從而發(fā)生膜電位或膜電壓的改變,達(dá)到檢測(cè)目的。離子敏傳感器廣泛用在化學(xué)、醫(yī)藥、食品以及生物工程等行業(yè)中。
(2)基因傳感器——生物型
基因傳感器通過(guò)固定在感受器表面上的已知核苷酸序列的單鏈脫氧核糖核酸分子(也稱為ssDNA探針),和另一條互補(bǔ)的ssDNA分子(也稱為目稱DNA或靶DNA)雜交,形成雙鏈DNA,換能器將雜交過(guò)程或結(jié)果所產(chǎn)生的變化轉(zhuǎn)換成電、光、聲等物理信號(hào),通過(guò)解析這些響應(yīng)信號(hào),給出相關(guān)基因的信息?;騻鞲衅饕卜QDNA傳感器。
(3)聲表面波傳感器——物理型
聲表面波傳感器是利用聲表面波技術(shù)和微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù),將各種非電量信息,如壓力、溫度、流量、磁場(chǎng)強(qiáng)度、加速度、角速度等的變化轉(zhuǎn)換為聲表面波振器振蕩頻率的變化的裝置。